KZVU-02
不锈钢真空腔体，军工级焊接工艺，腔体密封性强，耐腐蚀性能好
电子与精密制造、材料科学与表面工程、生物医学与制造、能源与化工、消费品与轻工业、半导体行业
产品详情
KZVU-02是一款实验型等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产。设备采用CCP电容耦合等离子体发生方式，整套系统包括真空仓、等离子发生器、真空泵以及进排气口，处理室为圆筒形不锈钢材料。可用来提高基片表面附着力或者改善表面亲水性，在材料粘接、涂层、基片镀膜或者键合等方面有广泛应用。
产品特点
u 不锈钢真空腔体，军工级焊接工艺，腔体密封性强，耐腐蚀性能好
u 桌面型设计，外形小巧，结构紧凑，性能稳定
u 触摸屏操作界面，控制友好，实时显示工艺参数
u 可储存多条工艺配方数据，使用时调出即可，数据可追溯
u 配备两路独立气体通道，便于探索不同气体配比对清洗效果的影响
u 对流式气体分布系统，在清洗时可形成动态循环、均匀进气提高清洗效果
主要用途
u 清洗：去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等
u 活化：亲疏水改性、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等
u 刻蚀：表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等
u 键合：PDMS等微流控器件键合
u 去胶：光刻胶灰化、扫底膜等
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