真空等离子清洗机KZVU-60-真空等离子-东莞市科众精密仪器有限公司_手动滴液型接触角测量仪,自动滴液型接触角测量仪,自动倾斜型接触角测量仪,单点全自动接触角测量仪,全自动接触角测量仪

真空等离子清洗机KZVU-60

KZVU-60

设备优势

产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
水平电极设计，可满足软性产品处理需求。

应用领域

电子与精密制造、材料科学与表面工程、生物医学与制造、能源与化工、消费品与轻工业、半导体行业

产品手册

136 1267 2565

产品与服务

应用行业

产品详情

真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

产品特点

u 产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品

u 水平电极设计，可满足软性产品处理需求。

u 低耗能、耗气产品。

u 便捷的收放板方式

u 真空系统集成，占地面积小

u 合理的等离子反应空间，使处理更均匀

u 集成的控制系统设计，使操作更方便

行业应用

u PI 表面粗化及清洁

u PSS的蚀刻

u ITO膜的蚀刻

u 半导体硅片PN结的去除

u Wire Bonding 前焊盘的表面清洗

u HDI板孔底及孔壁钻污的清洁

u PCB孔内钻污及表面清洁

u Coverlay表面粗化及清洁

u Teflon板的活化及孔内钻污清浩

u 软硬结合板孔内钻污及表面清

u ABS塑料的活化和清洗

u LED封装前的表面活化和清洗

u 陶瓷封装电镀前的清洗

u 手机外壳及屏幕的活化和清洗

u FPC 孔内钻污清洁与表面清洁

u 电子材料表面改性和表面清洗

u 其他材料的表面清洁

u 塑胶材质表面改性、表面粗化

u ITO涂覆前表面清洗

设备规格

电源系统		射频电源	中频电源
	功率	0~600W	0~1000W
	频率	13.56MHz	40KHz
真空系统	双级旋片泵（油泵）	40m³/h
	真空管路	全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
	材质	铝合金（可定制不锈钢腔体）
	厚度	25mm
	密封性	军工级焊接密封
	腔体内部尺寸	375×375×430mm（宽×高×深）
	电极板有效尺寸	247×281mm（宽×深）
	可用空间间距	22mm
	电极板布置方式	竖直布置，可活动抽取
	工作托盘	标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网）
	工作空间	6个空间
气体系统	流量范围	0~300SCCM
	工艺气体气路	标配两路，可定制
控制系统	系统控制	PLC
	交付方式	7寸触控屏幕
其它参数	外形尺寸	900×1750×1000mm（宽×高×深）
	重量	200KG
	设备外观颜色	银灰色

厂务规格要求

厂务规格要求
交流电源规格	电源：AC380V，50/60Hz，5线，50A
厂务排气	流量：2.0 m³/min
厂务工作气体要求	流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管纯度：99.99%以上
厂务压缩空气要求	流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：8×5 mm 材质：PU管露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³

一般规格

一般规格
危险标识	高压危险标识
使用环境	温度：15~30℃ 湿度：30~70%
其他注意事项	不可有可燃性气体，腐蚀性气体，爆炸或反应性粉尘气瓶需固定

配置清单

配置清单
序号	名称	描述说明		单位	数量
1	主机	外形尺寸：900×1750×1000mm（宽×高×深）		台	1
2	真空腔体	铝合金真空腔体内尺寸375×375×430mm（宽×高×深）		个	1
3	激励电源	射频电源	中频电源	套	1
3	激励电源	频率：13.56MHz；功率0~600W 全自动真空电容匹配器	频率：40KHz； 0~1000W;	套	1
4	PLC	德国西门子，S7-200		个	1
5	触摸屏	威纶通，七寸屏幕，MT6071iE		个	1
6	流量计	英国wawick品牌		个	2
7	真空泵组	飞越双级旋片泵（油泵）：40m³/h		台	1
8	真空计	英福康		个	1
9	说明书	真空等离子清洗机KZUV-60操作说明书		份	1

维护保养
项目	检查内容	寿命	检查频率
油泵	滤芯	使用时间2000H	15天
油泵	泵油	使用时间2000H	15天

选配件表
激励电源	射频电源	中频电源
	定制电源：频率13.56MHz；功率0~600W 全自动真空电容匹配器	KZ-1000W：频率40KHz，功率1000W
	飞越双级旋片泵（油泵）：40m³/h